什么是无尘实验室？是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 

        无尘实验室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为“无尘实验室”。那么，无尘实验室该如何防止微粒子污染呢？  

一、不携入 

       1.作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

       2.进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤 材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等；

       3.通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室；

       4.机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。；

       5.无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。  

二、不发生 

       1.减少接触剥离发尘的动作形态；

       2.采用磨耗发尘小的材质；

       3.采用发尘小的润滑油； 

       4.机台应用空压浮上的非接触化工作原理。  

三、不储备 

       若能彻底实施“不携入”技术，无尘实验室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要，通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面，突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。